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    公开号:WO1991010533A1
    申请号:PCT/JP1991/000022
    申请日:1991-01-11
    公开日:1991-07-25
    发明作者:Norio Karube
    申请人:Fanuc Ltd；
    IPC主号:B23K26-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書 - レーザ切断加工方法 技 術 分 野
    [0002] 本発明は軟鐧などの厚板を切断するレーザ切断加工方法に 関し、 特に光学歪みによる集光特性を改良したレーザ切断加 ェ方法に関する。 背 景 技 術
    [0003] 従来の C〇 2 レーザ加工機は出力 1 KW以下のものが中心 であって、 軟鐧であれば板厚 9 mm程度が切断限界であった。 この出力領域ではいかに微小点までレーザ光を集光光学系で 絞れるかが最大の技術課題であった。 集光特性を左右する因 子としてはレーザ光の発散角を決定するモー ド次数、 回折限 界を決定する集光系上でのビーム直径、 集光系収差などがあ り、 なかでも C〇 2 レーザ加工機では第一因子のモー ド次数 が重視され、 最低次数モードである TEM 0 0モードの達成 が重視された。 この TEM 0 0モードは発散角が最小のモー ドであって、 最も集光特性に優れ微小加工が可能なものであ る o
    [0004] この考えは大出力 C 02 レーザを用いた加工機の場合にも 踏襲された。 レーザ発振器の大出力化と T EM 0 0モー ド化 は一般には両立しない条件であるが、 種々の工夫が施されて モード低次数化が試みられた。 しかし、 我々は実験ならびに理論解析を通じて出力 2 K W 以上の領域では T E M 0 0主成分のモードでは集光光学系に 光学歪みが発生し、 小出力時とは全く異なつたふるまいを示 し、 微小点への集光は最早不可能であることを見いだした。 これは Z n S e レンズの場合にもっとも顕著である。 レン ズ上にレーザ光吸収による温度上昇が生じ T E M 0 0モード では中心部分のパワー密度が顕著に高くなるので温度分布も 同様の分布を示す。 その結果高温部分は熱膨張と屈折率増加 を発生し集光特性の局部的変化をもたらす。
    [0005] この集光特性の乱れは前記した集光特性を増大させる 3種 の因子の効果をはるかに上回つたものである。 いうなれば集 光特性を改良しょうとする従来のアプローチは出力 2 K W以 上の領域では全く逆の効果しかなかったと言える。 発 明 の 開 示
    [0006] 本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、 リ ン ダモードを主成分とするレーザ光を使用して光学歪みによる 集光特性劣化を改良したレーザ切断加工方法を提供すること を目的とする。
    [0007] また、 本発明の他の目的は集光光学系表面に気体を吹きつ けて冷却して、 光学歪みによる集光特性劣化を改良したレー ザ切断加工方法を提供することである。
    [0008] さらに、 本発明の他の目的は集光レンズとして K C L レン ズを使用して、 光学歪みによる集光特性劣化を改良したレー ザ切断加工方法を提供することである。 また、 本発明の他の目的は集光光学系として集光反射鏡を 使用して、 光学歪みによる集光特性劣化を改良したレーザ切 断加工方法を提供することである。
    [0009] 本発明では上記課題を解決するために、
    [0010] 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加工方 法において、 中央部の欠落したリ ングモード主成分のレーザ 光を使用して切断加工を行うことを特徵とするレーザ切断加 ェ方法が、 提供される。
    [0011] また、 大出カレーザによって、 厚板を加工するレーザ切断 加工方法において、 集光光学系表面に気体を吹き付けること で冷却することを特徵とするレーザ切断加工方法が、 提供さ れる。
    [0012] さらに、 大出カレーザによって、 厚板を加工するレーザ切 断加工方法において、 集光レンズとして、 K C L (塩化カ リ ゥム） レンズを使用することを特徴とするレーザ切断加工方 法が、 提供される。
    [0013] また、 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断 加工方法において、 集光反射鏡を使用することを特徴とする レーザ切断加工方法が、 提供される。
    [0014] 中央部の欠落したリ ングモード主成分のレーザ光を使用す ることにより、 集光用光学系、 すなわち集光レンズの中央部 のレーザ光吸収による光学歪みを低減して、 集光特性の劣化 を防止する。 T E M 0 1主成分のレーザ光を用いても出力 2 K W以上でファィ ン切断することができる。 更にこの方法に よればビーム形状に制約がないのでレーザ光を遠距離伝搬さ せて切断に用いることが可能である。 厚板は通常ヮークが長 大であるので、 このビーム遠距離 （たとえば 2 0 m ) 伝搬は 実用上重要である。
    [0015] また、 集光光学系表面に気体を吹き付けることで集光光学 系、 すなわち集光レンズの発熱の大きい中央部を直接冷却し、 集光レンズの温度を低下させ、 集光レンズの中央部のレーザ 光吸収による光学歪みを低減して、 集光特性の劣化を防止す る o
    [0016] さらに、 集光レンズとして、 K C L (塩化力 リ ウム） レン ズを使用することにより、 光学歪みを低減して、 集光特性の 劣化を防止する。 これは K C Lでは温度上昇時に膨張と屈折 率増大が異符号で発生し、 互いに相殺して、 光学歪みの増大 を抑えることができるからである。
    [0017] また、 集光光学系として、 集光反射鏡を使用する。 反射鏡 は屈折系でないので熱変形による歪みしか存在せず、 屈折率 の変化による集光特性の劣化を防止する。 図 面 の 簡 単 な 説 明
    [0018] 第 1図 （ a ) 、 ( b ) 及び （ c ) は本発明のビームモー ド を中抜けにするための説明図、
    [0019] 第 2図は集光レンズを冷却する方法を示す図、
    [0020] 第 3図は集光用反射鏡を使用する場合の例を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
    [0021] 以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 第 1図 （a) 、 ( b ) 及び （c ) は本'発明のビームモー ド を中抜けにするための説明図である。 第 1図 （ a) は TEM 0 0モー ドを、 第 1図 （b) は TEM 0 1モードを、 第 1図 ( c ) は TEM 1 0モードをそれぞれ示す。 TEM O 1モ一 ドのみは中央部が欠落している。 この時レーザ出力が同一レ ベルであつてもパヮ一密度が低下するし、 周辺冷却をおこな つている集光系では中心部の過熱がおこりやすいので中心部 にレーザビームが照射されないこのようなモードでは光学歪 みが発生しずらいものである。
    [0022] モー ドは完全に T EM 0 1でなく TEM O 0モードと TE M 0 1モー ドを含むものであってもよいが、 この場合でも T EM 0 1が主成分である必要がある。 また TEM 0 1モード であれば異なったモード間のホッ ピングが防止できモー ド安 定性が高くなるので切断面精度もすぐれたものになる。
    [0023] 特に R F放電励起レーザは管壁付近に高利得が存在するの で TEM 0 1モードには有利な放電方法であり、 TEM 0 1 モー ドを主成分とするレーザ光を得ることができる。 また、 共振器内にモー ド純化用のアパーチャや中央部吸収体を設け ること ¾>で ¾る。
    [0024] 第 2図は集光レンズを冷却する方法を示す図である。 従来 は集光レンズは周辺を間接水冷しており、 特に TEM O 0で は発熱は中央部に局在していたので前記した光学歪みが多発 した。 本発明では集光レンズ中央部を直接空冷する。 第 2図 において、 1 0は集光レンズ等を保持する構造体、 1 2の斜 線部はレーザ光、 1 1は集光レンズ、 8は加工ノ ズル口、 1 3は焦点、 9がワークである。 - レーザ光による切断そのものは既知として説明を省略する。 本発明では集光レンズ 1 1の両面に冷却ガスを吹き付けて強 制冷却をする。 そのために集光レンズ 1 1の上面の冷却のた めに冷却ガス導入口 1から、 例えば清净空気を導入し、 矢印 の方向で集光レンズ 1 1 に吹き付けて冷却ガス排出口 2から 排出させる。 これは同時に集光レンズ 1 1の表面の汚れ防止 にもなる。 集光レンズ 1 1の下面冷却のために冷却ガス導入 口 3 から酸素、 あるいは空気を導入し冷却ガス排出口 4から 排出する。 この噴射量は最適値に維持される必要があるので . 冷却用ガス流は可変バルブ 5 によって調節する。 このバルブ 下流は排気ポンプで引いてもよい。
    [0025] また、 加エノズルロ 8からは切断用補助ガスが吹きだす必 要があるのでそれは補助ガス導入口 6、 7などから導入され 加エノ ズルロ 8から噴射される。
    [0026] このような強制空冷で冷却を行う時、 集光レンズ 1 1 には 光学歪みが発生しないので T E M 0 1主成分のモードでもよ い集光特性を得ることができて厚板切断を行うことができる。 厚板ではワークは長大であるので加工点がレーザ発振器から 2 0 m程度離れることがある。 第 1図に示す T E M 0 0モー ドを主成分とする方法は 2 0 mの距離にわたって T E M 0 0 モード構造を維持することが困難であるが、 T E M 0 1モー ドを主成分とするレーザを使用する本方法ではこの問題がな い。
    [0027] 第 3の方法は K C L (塩化カ リ ウム） レンズを用いること である。 この時、 特別な冷却がなくても ·光学歪みは発生しな い。 これは K C Lでは温度上昇時に膨張と屈折率増大が異符 号で発生し、 相殺するからである。 この方法もレーザ光の遠 距離伝送時に使用することができる。
    [0028] 第 3図は集光用反射鏡を使用する場合の例を示す図である。 2 5は軸はずしパラボラであってレーザ光 2 2を焦点 2 3に 集光する。 2 4は軸はずしパラボラ 2 5等を保持する構造体 である。 1 6は補助ガス導入口である。 軸はずしパラボラ 2 5は反射鏡で屈折系でないので熱変形による歪みしか存在し ない。 しかも軸はずしパラボラ 2 5は図に示すように背後か ら全域を間接冷却することができる。 2 6は冷却水通路であ る。 この方法もレーザ光の遠距離伝送時に問題がない。
    [0029] 以上 4種の方法を紹介した。 いずれも集光系の光学歪みに 起因する集光特性低下を防止する方法であって大出力レーザ による切断加工には有効な技術と言える。
    [0030] このうちの、 第 1の方法の中央部の欠落したリ ングモード 主成分のレーザ光を使用する方法と、 その他の方法である第 2 の集光レンズをガスで冷却する方法、 第 3の K C L レンズ を使用する方法、 第 4の集光反射鏡を使用する方法とは互い に組み合わせて、 その効果を高めることができる。
    [0031] これらの方法によれば、 出力 3 K Wの C 0 2 レーザで軟鐧 2 5 m mまでを切断でき、 1 9 m mまでをフ ァ イ ン切断する ことができる。 また、 レーザ光伝搬距離 2 0 τη以上の大型加 ェ機にたいしても安定した特性をあたえることができる。 以上説明したように本発明では、 大出力レーザ光による切 断加工時に発生する集光系の光学歪みによる集光特性低下を 防止したので、 従来切断不可能であった板厚のワークを切断 できる。
    [0032] また、 レーザ光伝搬距離の長い大型加工機に対しても安定 した特性をあたえることができる。
    权利要求:
    Claims請 求 の 範 囲
    1 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    中央部の欠落したリ ングモード主成分のレーザ光を使用し て切断加工を行うことを特徴とするレーザ切断加工方法。
    2 . 前記リ ングモー ド主成分は T E M 0 1 モー ド成分であ ることを特徴とする請求項 1記載のレーザ切断加工方法。
    3 . 前記リ ングモード主成分に対して、 T E M 0 0モード 成分を含むことを特徵とする請求項 1記載のレーザ切断加工 方法。
    4 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    集光光学系表面に気体を吹き付けることで冷却することを 特徴とするレーザ切断加工方法。
    5 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    集光レンズとして、 K C L (塩化カ リ ウム） レンズを使用 することを特徵とするレーザ切断加工方法。
    6 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    集光反射鏡を使用することを特徴とするレーザ切断加工方 法。
    7 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    中央部の欠落したリ ングモード主成分のレーザ光を使用し、 - 1 o - 集光光学系表面に気体を吹き付けるこ-とで冷却することを 特徵とするレーザ切断加工方法。
    8 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    中央部の欠落したリ ングモード主成分のレーザ光を使用し、 集光レンズとして、 K C L (塩化カ リ ウム） レンズを使用 することを特徴とするレーザ切断加工方法。
    9 . 大出力レーザによって、 厚板を加工するレーザ切断加 ェ方法において、
    中央部の欠落したリ ングモー ド主成分のレーザ光を使用し、 集光反射鏡を使用することを特徵とするレーザ切断加工方 法。
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    US10730785B2|2016-09-29|2020-08-04|Nlight, Inc.|Optical fiber bending mechanisms|
    JP6450784B2|2017-01-19|2019-01-09|ファナック株式会社|レーザ加工機|
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    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP2/10029||1990-01-19||
    JP2010029A|JPH03216287A|1990-01-19|1990-01-19|Laser beam cutting method|EP91901897A| EP0464213B1|1990-01-19|1991-01-11|Method of laser cutting work|
    DE69111314T| DE69111314T2|1990-01-19|1991-01-11|Laserschneideverfahren.|
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